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Step-Up 구조를 갖는 다층박막 초소형 구동소자의 초기변형 최소화에 관한 연구
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| 1 | 안전보건공단/일반자료실/ | 550.05 대91ㄷ | 구독중 | 제36권 제6호(통권321호) | 상세보기 |
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