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수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 극소형 공진가속도계의 설계, 제작, 정적시험 및 오차분석

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자료유형저널기사
기사제목수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 극소형 공진가속도계의 설계, 제작, 정적시험 및 오차분석
기사저자명서영호
권차제25권 제3호(통권186호)
수록페이지pp.520-528
수록잡지명대한기계학회논문집 A

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