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방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터

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자료유형저널기사
기사제목방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터
기사저자명류지철
권차제25권 제1호(통권184호)
수록페이지pp.16-24
수록잡지명대한기계학회논문집 A

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