자료유형 | 단행본 |
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단체저자명 | 한국산업안전공단 교육정보국; |
서명/저자사항 | 반도체 제조장비의 환경, 보건, 안전기준 /한국산업안전공단 교육정보국. |
발행사항 | 인천 :한국산업안전공단 교육정보국 ,2000. |
형태사항 | 182p ;30cm. |
보고서번호 | 일반분야 기술자료 교육 2000-27-424 |
원서명 | Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment |
원저자명 |