| LDR | 00611namk 00181 k 4500 | |
|---|---|---|
| 001 | 000000041530 | |
| 005 | 20060712133403 | |
| 008 | 060712s2000 ulk t 000a kor | |
| 049 | ▼l EM00025374 | |
| 056 | ▼a 530.98 | |
| 088 | ▼a 일반분야 기술자료 교육 2000-27-424 | |
| 090 | ▼a 530.98 ▼b 한17ㅂ | |
| 110 | ▼a 한국산업안전공단 교육정보국 | |
| 245 | 10 | ▼a 반도체 제조장비의 환경, 보건, 안전기준 / ▼d 한국산업안전공단 교육정보국. |
| 260 | ▼a 인천 : ▼b 한국산업안전공단 교육정보국 , ▼c 2000. | |
| 300 | ▼a 182p ; ▼c 30cm. | |
| 507 | 11 | ▼t Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment |
| 950 | 0 | ▼a 기증 |