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자기 흡인식 부상 원리에 기초한 비접촉식 서피스 액추에이터의 초정밀 범용 스테이지에의 적용 가능성

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자료유형저널기사
기사제목자기 흡인식 부상 원리에 기초한 비접촉식 서피스 액추에이터의 초정밀 범용 스테이지에의 적용 가능성
기사저자명정광석
권차제26권 제3호(통권198호)
수록페이지pp.452-460
수록잡지명대한기계학회논문집 A

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