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전자기력 조합에 기초한 평면 구동기를 이용한 자기 부상 방식 초정밀 스테이지
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| No. | 소장처/자료실/서가 | 청구기호 | 구독 | 최근입수호 | 권호정보 | 제본정보 |
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| 1 | 안전보건공단/일반자료실/ | 550.05 대91ㄷ | 구독중 | 제36권 제6호(통권321호) | 상세보기 |
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