자료유형 | 단행본 |
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개인저자 | 임영훈 번역 |
단체저자명 | SEMI(국제반도체 장비 및 재료협회); |
서명/저자사항 | 반도체 제조장비 안전지침/SEMI(국제반도체 장비 및 재료협회);임영훈 번역. |
발행사항 | 인천:한국산업안전공단 교육정보국 정보운영팀,2004. |
형태사항 | 265p.;30cm. |
보고서번호 | 일반분야-교육자료 교육 2004-26-498 |
원서명 | Safety Guidelines of Semiconductor Equipment and Materials International |
원저자명 |