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088 ▼a 일반분야-교육자료 교육 2004-26-498
090 ▼a 530.98023 ▼b S471sKㅂ
110 ▼a SEMI(국제반도체 장비 및 재료협회)
24510 ▼a 반도체 제조장비 안전지침/ ▼d SEMI(국제반도체 장비 및 재료협회); ▼e 임영훈 번역.
260 ▼a 인천: ▼b 한국산업안전공단 교육정보국 정보운영팀, ▼c 2004.
300 ▼a 265p.; ▼c 30cm.
50710 ▼t Safety Guidelines of Semiconductor Equipment and Materials International
7001 ▼a 임영훈 번역
9500 ▼a 기증 ▼b (비매품)